GB/T 43493.1-2023

半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分:缺陷分类

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2023-12-28
  • 【CCS分类】L90电子技术专用材料
  • 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件