基本信息

标准号:GB/T 12963-2022
发布日期:2022-12-30
实施日期:2023-07-01
标准类别:产品
中国标准分类号:H82
国际标准分类号: 29 电气工程 29.045 半导体材料
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会

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