基本信息

标准号:GB/T 42263-2022
发布日期:2022-12-30
实施日期:2023-04-01
标准类别:方法
中国标准分类号:H17
国际标准分类号: 77 冶金 77.040 金属材料试验
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会

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