GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
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扩展阅读:本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-13:2017。采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁。