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探针卡电阻测试

原创发布者:北检院    发布时间:2025-06-28     点击数:

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注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

信息概要

探针卡电阻测试是半导体制造和测试过程中的关键环节,主要用于评估探针卡的电气性能和接触可靠性。探针卡作为晶圆测试的核心部件,其电阻特性直接影响测试结果的准确性和稳定性。通过专业的第三方检测服务,可以确保探针卡在高频、高精度测试中的性能达标,减少因接触不良或电阻异常导致的测试误差,从而提高生产良率和效率。检测服务涵盖电阻值、接触阻抗、耐久性等多维度参数,为半导体行业提供可靠的质量保障。

检测项目

接触电阻,绝缘电阻,导通电阻,动态电阻,静态电阻,电阻均匀性,电阻稳定性,温度系数,耐压性能,耐久性测试,接触力测试,接触阻抗,高频电阻,低频电阻,电阻漂移,电阻一致性,电阻重复性,电阻线性度,电阻噪声,电阻老化测试

检测范围

悬臂式探针卡,垂直式探针卡, MEMS探针卡,薄膜式探针卡,环氧树脂探针卡,陶瓷探针卡,钨针探针卡,铍铜探针卡,镍合金探针卡,金合金探针卡,高密度探针卡,低密度探针卡,高频探针卡,低频探针卡,高温探针卡,低温探针卡,大电流探针卡,小电流探针卡,多引脚探针卡,单引脚探针卡

检测方法

四线法测试:通过分离电流和电压测量线,消除引线电阻影响,精确测量低电阻值。

接触电阻测试:评估探针与测试点接触时的电阻特性,确保接触可靠性。

绝缘电阻测试:测量探针卡绝缘部分的电阻值,验证其绝缘性能。

动态电阻测试:模拟实际工作条件下的电阻变化,评估动态性能。

温度循环测试:通过高低温循环,检测电阻值随温度变化的稳定性。

耐久性测试:模拟长期使用场景,评估探针卡的电阻性能衰减情况。

高频阻抗测试:使用高频信号测量探针卡的阻抗特性,适用于高频应用场景。

接触力测试:测量探针与测试点的接触力,分析其对电阻值的影响。

电阻均匀性测试:评估探针卡多个触点之间的电阻一致性。

电阻漂移测试:长时间监测电阻值变化,评估其稳定性。

噪声测试:测量电阻中的噪声成分,分析其对信号完整性的影响。

老化测试:加速老化条件下检测电阻性能,预测使用寿命。

线性度测试:评估电阻值随电流或电压变化的线性关系。

重复性测试:多次测量同一探针的电阻值,验证测试结果的重复性。

耐压测试:施加高电压检测探针卡的耐压能力和绝缘性能。

检测仪器

四线电阻测试仪,微欧姆计,绝缘电阻测试仪,高频阻抗分析仪,动态电阻测试仪,温度循环箱,耐久性测试机,接触力测试仪,噪声测试仪,老化测试箱,线性度测试仪,重复性测试仪,耐压测试仪,信号发生器,示波器

实验仪器

实验室仪器 实验室仪器 实验室仪器 实验室仪器

测试流程

探针卡电阻测试流程

注意事项

1.具体的试验周期以工程师告知的为准。

2.文章中的图片或者标准以及具体的试验方案仅供参考,因为每个样品和项目都有所不同,所以最终以工程师告知的为准。

3.关于(样品量)的需求,最好是先咨询我们的工程师确定,避免不必要的样品损失。

4.加急试验周期一般是五个工作日左右,部分样品有所差异

5.如果对于(探针卡电阻测试)还有什么疑问,可以咨询我们的工程师为您一一解答。

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