晶圆盒SMIF屏蔽认证（SEMI E78）

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注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。

信息概要

晶圆盒SMIF屏蔽认证（SEMI E78）是针对半导体制造中使用的标准机械接口（SMIF）晶圆盒的屏蔽性能进行的标准化检测。该认证确保晶圆盒在运输和存储过程中能够有效隔离外部污染物，保护晶圆表面的洁净度，从而提升半导体制造的良率和可靠性。检测的重要性在于，晶圆盒的屏蔽性能直接关系到晶圆的质量和生产效率，未通过认证的产品可能导致晶圆污染，进而造成巨大的经济损失。通过第三方检测机构的专业服务，可以确保晶圆盒符合SEMI E78标准，满足半导体行业的高标准要求。

检测项目

屏蔽效率测试，颗粒物泄漏测试，静电屏蔽性能测试，气密性测试，材料兼容性测试，机械强度测试，耐化学性测试，温度循环测试，湿度稳定性测试，振动测试，冲击测试，洁净度测试，表面电阻测试，电磁屏蔽测试，紫外线老化测试，臭氧暴露测试，压力衰减测试，气流均匀性测试，密封性能测试，尺寸精度测试

检测范围

200mm晶圆盒，300mm晶圆盒，450mm晶圆盒，开放式晶圆盒，封闭式晶圆盒，SMIF晶圆盒，FOUP晶圆盒，石英晶圆盒，塑料晶圆盒，金属晶圆盒，防静电晶圆盒，高温晶圆盒，低温晶圆盒，真空晶圆盒，洁净晶圆盒，防辐射晶圆盒，多层晶圆盒，单层晶圆盒，定制化晶圆盒，自动化晶圆盒

检测方法

激光粒子计数器法：通过激光粒子计数器检测晶圆盒内外的颗粒物数量，评估屏蔽效率。

气溶胶挑战测试：向晶圆盒内注入气溶胶，检测泄漏情况。

静电衰减测试：测量晶圆盒材料的静电衰减时间，评估静电屏蔽性能。

氦质谱检漏法：使用氦气作为示踪气体，检测晶圆盒的微小泄漏。

材料兼容性测试：将晶圆盒材料与常见化学品接触，观察其变化。

机械强度测试：通过施加机械力，测试晶圆盒的结构强度。

温度循环测试：将晶圆盒置于高低温循环环境中，评估其稳定性。

湿度稳定性测试：在高湿度环境中测试晶圆盒的性能变化。

振动测试：模拟运输过程中的振动，检测晶圆盒的抗震性能。

冲击测试：通过自由落体或冲击机测试晶圆盒的抗冲击能力。

洁净度测试：使用洁净室技术检测晶圆盒内部的颗粒物含量。

表面电阻测试：测量晶圆盒表面的电阻值，评估防静电性能。

电磁屏蔽测试：使用电磁波发生器测试晶圆盒的电磁屏蔽效果。

紫外线老化测试：将晶圆盒暴露在紫外线下，评估其耐老化性能。

臭氧暴露测试：将晶圆盒置于臭氧环境中，测试其耐臭氧性能。

检测仪器

激光粒子计数器，气溶胶发生器，静电衰减测试仪，氦质谱检漏仪，材料测试机，温度循环箱，湿度试验箱，振动台，冲击试验机，表面电阻测试仪，电磁屏蔽测试仪，紫外线老化箱，臭氧老化箱，压力衰减测试仪，洁净度检测仪

实验仪器

测试流程

注意事项

1.具体的试验周期以工程师告知的为准。

2.文章中的图片或者标准以及具体的试验方案仅供参考，因为每个样品和项目都有所不同，所以最终以工程师告知的为准。

3.关于（样品量）的需求，最好是先咨询我们的工程师确定，避免不必要的样品损失。

4.加急试验周期一般是五个工作日左右，部分样品有所差异

5.如果对于（晶圆盒SMIF屏蔽认证（SEMI E78））还有什么疑问，可以咨询我们的工程师为您一一解答。