GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分: 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性
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扩展阅读:本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-15:2017。采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第15部分: 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性。