GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性
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扩展阅读:本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-14:2016 。采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第14部分:按评估粒子污染浓度评估设备适用性。