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GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法

原创发布者:北检院    发布时间:2023-01-31     点击数:

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基本信息

标准号:GB/T 42274-2022
发布日期:2022-12-30
实施日期:2023-04-01
标准类别:方法
中国标准分类号:H17
国际标准分类号: 77 冶金 77.040 金属材料试验
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会

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实验仪器

实验室仪器 实验室仪器 实验室仪器 实验室仪器

测试流程

GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定  二次离子质谱法流程

注意事项

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