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刻蚀实验检测

原创发布者:北检院    发布时间:2024-03-07     点击数:

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刻蚀实验检测范围

纳米技术,半导体,材料科学,光学器件,纳米光子学,微纳加工,生物传感器,电子器件,表面处理,纳米结构,光刻技术,纳米生物学,纳米材料,芯片制造,微纳米加工,电子显微镜,光子晶体,半导体工艺,纳米加工技术,微纳米制造

刻蚀实验检测项目

电容耦合等离子体增强化学气相沉积,金相显微镜,扫描电子显微镜,透射电子显微镜,热重分析,差示扫描量热仪,红外光谱,拉曼光谱,核磁共振, X射线衍射,电导率测试,荧光光谱,紫外-可见吸收光谱,电化学阻抗谱,疲劳测试,弯曲试验,滚动接触疲劳试验,电子学性能测试,耐磨性能测试,疏水性能测试

刻蚀实验检测方法

Scanning Electron Microscopy (SEM): This method can be used to analyze the surface morphology of the sample after etching.

Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS): EDS can provide information on the elemental composition of the sample post-etching.

Atomic Force Microscopy (AFM): AFM can be employed to investigate the topography and roughness of the etched surface at nanoscale level.

UV-Vis Spectroscopy: This method can be used to analyze any changes in the optical properties of the sample before and after etching.

X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS): XPS can provide detailed information about the chemical composition and oxidation states of the elements on the sample surface.

刻蚀实验检测仪器

扫描电子显微镜,透射电子显微镜,原子力显微镜,荧光显微镜,紫外-可见分光光度计,拉曼光谱仪, X射线衍射仪,核磁共振仪,质谱仪,热重分析仪,红外光谱仪,电化学工作站,表面等离子共振仪, X射线光电子能谱仪,激光共聚焦显微镜,等离子体发射光谱仪,场发射扫描电镜,原子力显微镜, X射线荧光光谱仪,电子自旋共振仪,超分辨荧光显微镜

刻蚀实验检测标准

SJ 21130-2016:等离子体刻蚀机通用规范

SJ 21131-2016:反应离子刻蚀机通用规范

SJ 21258-2018:干法刻蚀设备工艺验证方法

GB/T 41652-2022:刻蚀机用硅电极及硅环

SJ 21169-2016:MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求

SJ 21531-2018:多层共烧陶瓷 表层刻蚀工艺技术要求

GB/T 32816-2016:硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

GB/T 35823-2018:实验动物 动物实验通用要求

GB/T 39649-2020:实验动物 实验鱼质量控制

GB/T 43051-2023:实验动物 动物实验生物安全通用要求

GB/T 29477-2012:移动实验室实验舱通用技术规范

JB/T 7439.6-1994(2009):实验室仪器术语 实验室离心机

JY/T 0044-2019:碰撞实验器

GB/T 39759-2021:实验动物 术语

JY/T 0218-2007:线路实验板

JY/T 0372-2004:油膜实验器

JB/T 7439.6-1994(2017):实验室仪器术语 实验室离心机

WS/T 416-2013:干扰实验指南

GB/T 37844-2019:空间材料科学实验 固体实验样品制备规范

GB/T 14926.53-2001:实验动物 血凝试验

SL 759-2018:径流实验观测规范

GB/T 34240-2017:实验动物 饲料生产

JY 216-1987:等势线描绘实验器

GB/T 43278-2023:医学实验室 风险管理在医学实验室的应用

GB/T 42011-2022:实验动物 福利通则

GB/Z 30154-2013:医学实验室 GB/T 22576-2008 实验室实施指南

GB/T 18448.6-2001:实验动物 蠕虫检测方法

GB/T 39646-2020:实验动物 健康监测总则

GB/T 14926.54-2001:实验动物 血凝抑制试验

CNS 5473-1980:瓷质实验仪器

实验仪器

实验室仪器 实验室仪器 实验室仪器 实验室仪器

测试流程

刻蚀实验流程

注意事项

1.具体的试验周期以工程师告知的为准。

2.文章中的图片或者标准以及具体的试验方案仅供参考,因为每个样品和项目都有所不同,所以最终以工程师告知的为准。

3.关于(样品量)的需求,最好是先咨询我们的工程师确定,避免不必要的样品损失。

4.加急试验周期一般是五个工作日左右,部分样品有所差异

5.如果对于(刻蚀实验检测)还有什么疑问,可以咨询我们的工程师为您一一解答。

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