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在线咨询硅单晶抛光片测试试验周期

硅单晶抛光片测试

发布者:北检院    发布时间:2022-09-02     点击数:

测试样品:硅单晶抛光片

测试项目

厚度和总厚度变化,导电类型,弯曲度,径向电阻率变化,氧化诱生缺陷,电阻率,表面质量,电阻率,直径,翘曲度,表面质量测试

测试周期:7-15个工作日,试验加急

硅单晶抛光片测试

测试标准

GB/T 12964-2018硅单晶抛光片

GB/T 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

GB/T 24578-2015硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

GB/T 26069-2022硅单晶退火片

GB/T 29504-2013300mm 硅单晶

GB/T 29506-2013300mm 硅单晶抛光片

GB/T 30656-2014碳化硅单晶抛光片

GB/T 31351-2014碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

GB/T 41325-2022集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片

SJ/T 11502-2015碳化硅单晶抛光片规范

SJ/T 11503-2015碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

SJ/T 11504-2015碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

SJ 21122-2016PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范

T/IAWBS 005-20186 英寸碳化硅单晶抛光片

T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法

T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法

T/IAWBS 014-2021碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法

T/ZZB 0648-2018200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片

YS/T 28-2015硅片包装

测试仪器

硅单晶抛光片仪器

测试流程

硅单晶抛光片流程

注意事项

1.具体的试验周期以工程师告知的为准。

2.文章中的图片或者标准以及具体的试验方案仅供参考,因为每个样品和项目都有所不同,所以最终以工程师告知的为准。

3.关于(样品量)的需求,最好是先咨询我们的工程师确定,避免不必要的样品损失。

4.加急试验周期一般是五个工作日左右,部分样品有所差异

5.如果对于(硅单晶抛光片测试)还有什么疑问,可以咨询我们的工程师为您一一解答。

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